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快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)

時間:2022-05-23點(diǎn)擊次數(shù):2276
   快速退火爐是一個簡單穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng),采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。
  
  主要功能和特點(diǎn):
  1、可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;
  2、爐體配備高精度移動平臺,運(yùn)行平穩(wěn)無抖動;
  3、爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動,可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;
  4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時,升溫速度快,最高溫度可達(dá)1050℃。
  5、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;
  6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;
  7、設(shè)置超溫報警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。
  
  快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域:
  1、離子注入/接觸退火;
  2、快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
  3、可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;
  4、SiAu,SiAl,SiMo合金化;
  5、低介電材料;
  6、晶體化,致密化;
  7、太陽能電池片鍵合。

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